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HMS-901AH智能光刻烤膠機、硅精片高精度加熱板帶有負壓功能，表面帶有若干吸附孔，可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合，起到受熱均勻效果。

HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)板表面溫度均勻，溫度100℃以內(nèi)，精度0.1~0.3°C，200℃以內(nèi)，精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度，也起到防塵作用。

晶圓烤膠機(烘膠臺)具有自動進氣功能、過溫保護功能、超溫報警功能，計時功能，已獲得CE認證證書、實驗更安全、方便。

烤膠機廠家的光刻烤膠機(恒溫加熱)可選帶有保溫蓋，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度，也起到防塵作用；機器可選擇帶有負壓功能，表面帶有若干吸附孔，可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合，起到受熱均勻效果。

晶圓烤膠機(光刻)可選擇具有負壓功能，表面設(shè)有若干吸附孔，可使被加熱材料與表面緊密貼合，從而達到受熱均勻效果。

晶圓烤膠機(光刻)超快速加熱技術(shù)可使溫度以每秒5°C的速度增加，板表面溫度均勻，溫度100℃以內(nèi)，精度0.1~0.5°C，200℃以內(nèi)，精度1℃。